2026年6月8日
牛津仪器 200mm 先进刻蚀技术助力ROHM自建GaN量产线
化合物半导体先进等离子体工艺解决方案龙头企业牛津仪器宣布，将为罗姆半导体（ROHM）提供技术支撑，助力该企业实现 650 伏氮化镓功率器件自研自产产线的落地转型。
通过采用牛津仪器的 200 毫米 GaN 等离子体原子层刻蚀（ALE）技术，ROHM 正在将一项成熟工艺导入自身的大批量制造环境，并将晶圆尺寸扩展至 200 毫米。
ROHM自建 200 毫米GaN器件量产产线。
此次战略布局是 ROHM 集团打造全流程一体化氮化镓自主产线的重要里程碑。氮化镓功率器件相比传统硅器件优势显著，能效更高、开关速度更快、设备体积更小。ROHM 现已推出 EcoGaN™系列产品，凭借上述优势提供高效、小型化电源方案。本次产线建设将提升 ROHM 供货能力，满足电动汽车、AI 服务器、工业电源等场景对高效功率器件日益增长的市场需求。
牛津仪器行业领先的原子层刻蚀（ALE）技术搭配 Etchpoint™原位监测系统 —— 该系统为牛津仪器与 LayTec 独家联合开发，可实现实时光学原位监控，能够帮助氮化镓器件厂商将原子层刻蚀后的剩余膜层厚度控制在 ±0.5 纳米精度。这套全球首创的一体化技术，是 ROHM 将先进工艺落地自有晶圆厂的关键支撑，可提供顶尖工艺能力，保障高端氮化镓器件结构实现稳定复刻与规模化量产。
牛津仪器先进技术事业部总经理Matt Kelly表示：“ROHM 与牛津仪器最初围绕氮化镓开展研发合作，如今合作已延伸至量产爬坡筹备阶段。ROHM 选择自建氮化镓产线，是功率电子行业的重要里程碑。我们的先进刻蚀解决方案专为 200 毫米大规模量产场景打造，可实现低损伤刻蚀、原子级加工精度，同时具备优异的均匀性与工艺重复性。我们十分荣幸能够助力 ROHM 搭建稳定、高产能的自有制造平台，赋能下一代氮化镓功率技术落地。”
ROHM执行董事Yasushi Hamazaw表示：“我们很高兴深化与牛津仪器的合作。其行业领先的原子层刻蚀（ALE）技术，为我们搭建全流程一体化氮化镓自有量产平台的战略推进提供有力支撑。通过将核心制造工艺收归自有产线，我们旨在强化技术与品质管控、提升供货能力，增强自身在高速增长的氮化镓市场中的竞争力。依托本次产线建设，我们将加快面向电动汽车、AI 基础设施等领域的高效电源方案交付速度。我们将持续迭代氮化镓技术，推出性能更优异的产品，助力行业整体能效提升。”
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Grant Baldwin，市场营销负责人
牛津仪器等离子体技术
关于Oxford Instruments公司
牛津仪器为全球学术和商业机构提供市场领先的科学技术与专业能力，覆盖其关键市场领域：材料分析、半导体以及医疗保健与生命科学。创新是推动牛津仪器增长与成功的动力，支撑其核心宗旨：加速突破性进展，为我们的世界创造更光明的未来。为使世界更加绿色、健康和高效，人们正积极探索新的方法，这推动了面向新材料和新技术的研发投资达到前所未有的水平，以支持全球范围内的生产力提升和脱碳进程，也为牛津仪器的增长创造了重要机遇。
牛津仪器拥有独特地位，能够预判全球驱动因素，并将学术研究人员与商业应用工程师连接起来，作为推动现实世界进步的催化剂。牛津仪器成立于 1959 年，是首家从牛津大学分拆出来的科技企业，如今已成为一家在伦敦证券交易所 FTSE250 指数上市的全球性公司（OXIG）。
关于ROHM Co., Ltd
ROHM 是全球知名半导体及电子元器件制造商，创立于 1958 年。依托全球销售与研发网络，ROHM 面向汽车、工业设备、消费电子及通信领域供应品质与可靠性出众的集成电路、分立器件及各类电子元器件。公司在模拟芯片与功率器件领域具备核心优势，可提供整套系统优化解决方案，产品覆盖晶体管、二极管、电阻等外围元器件，以及最新碳化硅功率器件与配套驱动芯片，充分释放器件整体性能。 更多信息请访问www.rohm.com。
ROHM的 EcoGaN™
这是 ROHM 的 GaN 器件品牌名称，通过最大化 GaN 特性来实现更低的应用功耗、更小的外围元件以及更简单、所需部件更少的设计，从而为节能和小型化作出贡献。
EcoGaN™ 是 ROHM Co., Ltd. 的商标或注册商标。
