24 March 2023

产线增建 产能提升

牛津仪器加快推动资格认证计划,2023年等离子抛光将迎来产能大提升

随着几家碳化硅领先制造商正在紧锣密鼓地进行技术资格认证,牛津仪器等离子抛光技术已经被证实能有效改善碳化硅(SiC)衬底表面,并在多种制造工艺中减少亚表面损伤方面效果显著。由于晶体质量是SiC晶圆产量的一个关键因素,这一结果对于制造商无疑是注入了一针强心剂。牛津仪器于2022年9月在达沃斯碳化硅及相关材料国际会议上推出了200mm兼容的SiC晶圆抛光技术,目前正与商业合作伙伴在SiC器件制造供应链的多个环节进行测试,如晶锭生长、外延前后以及外延层间生长,以满足更高电压器件的应用要求。此外,横跨美国、欧洲和亚洲的12家供应商也证实了等离子抛光技术在可重复性和降低晶體缺陷方面具有显著优势,说明它对任何的SiC材料都是有效的解决方案。

牛津仪器正在与多家国际领先的SiC器件与晶圆制造商共同推动技术资格认证

等离子抛光技术的多方认证结果表明它在降低材料表面及亚表面损伤方面展现出了国际最高水平,有望推动功率SiC器件产能最大化。除了技术优势外,等离子抛光还可以降低供应链中多个步骤的晶圆抛光成本,同时减少该工艺对环境的影响。作为化学机械抛光(CMP)的替代技术,等离子抛光是生产高产量、低成本功率器件的理想选择,有助于解决当前SiC器件市场化所面临的关键挑战。

由于整个SiC供应链的主要客户对等离子抛光的市场潜力产生了浓厚的兴趣,牛津仪器正在加快等离子抛光工艺模块的生产。同时,我们与多家公司开展的资格认证项目也已进入后期阶段。牛津仪器等离子技术全球销售和市场总监Bas Derksema评论道:


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“到目前为止,我们与客户的接触是相当惊人的,我们不断得到反馈并确认了等离子抛光为解决当前和未来阻碍SiC市场化的技术挑战所带来的好处。GaN和SiC都是牛津仪器在宽禁带功率器件领域扩张计划的关键,我们拥有生产制造解决方案和非常令人兴奋的前沿发展路径,以应对客户当前和未来技术挑战。”


“我们正在英国Severn Beach建立新的研究设施和生产线,预计在未来12个月内上线,它将使我们的生产能力提升50%以上,应用实验室空间增加一倍,支持我们继续开发市场领先的创新解决方案,加快产能提升,以应对不断增长的市场需求。”

“牛津仪器参加了近期在佛罗里达州奥兰多举行的APEC 2023会议,这是实用和应用电力电子重要年度会议。我们的技术团队在现场讨论了牛津仪器开发的SiC和GaN工艺解决方案包括晶圆准备、表面改性、特征结构刻蚀、ALE、ALD和刻蚀终点探测TM等如何以更低的运营成本提高晶圆日产量。”

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