01 February 2024
牛津仪器公司为英国重要的增强现实和先进消费类设备制造商提供用于 microLED的ALD技术
牛津仪器的原子层沉积（ALD）设备已安装在一家获奖的英国MicroLED提供商，以支持最新的消费者沉浸式现实产品和显示设备。该系统用于沉积高介电常数的超薄膜，用于高密度、非常高亮度、低功耗和高帧率的RGB像素阵列，适用于消费级增强现实、虚拟现实和混合现实设备及智能手表。
对于具有高清显示的更小尺寸可穿戴设备的需求增加，推动了该行业研究的显著增长。MicroLED能够提供小于10微米的晶体尺寸，因此可以实现消费者可穿戴显示设备的微型化，同时仍保持高图像分辨率。随着晶体尺寸的减小，周长与面积的比例相应增加，而在台地形成和隔离步骤中引入的损伤成为性能限制因素。
在日本福冈举行的 2023 年国际氮化物半导体会议（ICNS）上，许多演讲都强调了等离子体 ALD 在抵消损伤方面的优势。专家表示，Plasma ALD还显著提高了外部量子效率，这是关键的材料性能指标，被专家描述为微型发光体关键的技术。
“我们非常高兴看到我们的低损伤等离子体原子层沉积（Plasma ALD）技术在我们的200毫米可行平台上获得市场推动。我们的等离子体原子层沉积高介电常数封装方案针对较小的芯片和更小的活动区域进行了优化，并且有些情况下我们的客户在ICNS上展示，外部量子效率翻倍。小型、高性能的MicroLED在虚拟现实头戴显示器和其他高级设备（如智能手表）中是关键组件，而我们的技术正在实现一些最令人向往和先进的消费者设备。”来自Klaas Wisniewski，牛津仪器战略业务发展总监。
作为化合物半导体加工设备和补充解决方案的市场领先供应商，牛津仪器公司将参加在旧金山举行的 2024 年美国西部光电展（Photonics West 2024）。我们的专家将分享我们最新的用于增强现实、虚拟现实、混合现实和量子的光电子工艺，以及用于人工智能和机器学习的数据传输应用。欢迎到现场与我们会面，讨论我们的蚀刻、沉积和离子束工艺解决方案，如何能够提升您的项目，并以更低的成本每天交付更多优质晶圆。
