Nov 17, 2025
聚焦 AI 下一代!牛津仪器交付 COHERENT 6 英寸磷化铟全自动加工设备
牛津仪器为COHERENT提供用于6英寸磷化铟晶圆制造的全自动加工设备,助力下一代人工智能应用开发
牛津仪器公司(股票代码:OXIG)是化合物半导体领域先进的等离子体工艺解决方案的前沿供应商。我们正在Coherent公司主导的首个全自动化6英寸磷化铟(InP)晶圆光子器件制造中发挥关键作用。该项目由Coherent公司(纽约证券交易所代码:COHR)牵头开展,Coherent同时也是化合物半导体及高性能光网络解决方案领域的全球领先企业。

牛津仪器的先进等离子体处理设备是Coherent公司突破性成就的核心,助力其在美国德克萨斯州谢尔曼市和瑞典耶尔夫拉市成功扩建6英寸磷化铟晶圆厂。这些晶圆厂将在推动人工智能数据中心、电信及传感应用的创新发展方面发挥关键作用。Coherent公司向6英寸晶圆的转型预计将带来积极效益,包括产能有效提升、芯片成本优化,以及每片晶圆可生产器件数量提升超四倍。
牛津仪器公司以提供全自动、高产能的6英寸磷化铟(InP)加工设备,助力Coherent实现有效的生产效率提升。该先进设备专为支持从800G向1.6T产品的过渡而设计,这是满足人工智能互联和光通信日益增长需求的重要支撑。
"多年来,我们一直是InP等离子刻蚀设备在数据通信市场的领先供应商,也是Coherent公司的重要合作伙伴。凭借我们所开发的技术——结合优质的服务品质、吞吐量与可靠性——正高度契合当前因生成式AI应用发布而引发的设备需求增长趋势。我们非常荣幸能在市场拓展的重要发展阶段与Coherent公司携手合作,并期待继续研发和推出创新且有价值的等离子体处理解决方案。" 牛津仪器等离子技术公司董事总经理Matt Kelly强调。
Coherent半导体器件执行副总裁Beck Mason博士表示:“Coherent转向6英寸InP晶圆制造标志着该行业的一个重要里程碑。牛津仪器在等离子体处理方面的专业知识对于使我们的Sherman和Järfälla晶圆厂达到高水平性能至关重要。我们共同推进InP技术,以支持更快的网络、更高的效率和将定义连接未来的新应用。”
关于牛津仪器公司
牛津仪器公司为全球学术和商业组织提供市场前沿科学技术和专业知识,涵盖其主要细分市场:材料分析、医疗保健和生命科学以及半导体。创新是牛津仪器成长和成功的驱动力,支持其加速突破的核心目标,为我们的世界创造更光明的未来。积极探索使我们的世界更环保、更健康、更高效的新方法,正在推动对新材料和新技术的研发投资达到持续提升的水平,以支持全球生产力和脱碳,为牛津仪器公司的发展创造了重大机遇。
牛津仪器公司拥有独特的地位,可以预测全球驱动因素,并将学术研究人员与商业应用工程师联系起来,作为推动现实世界进步的催化剂。牛津仪器公司成立于1959年,是牛津大学分拆出来的第一家科技公司,现在是一家在伦敦证券交易所(OXIG)富时250指数上市的全球性公司。
如需更多信息,请访问 www.oxinst.cn
关于Coherent公司
Coherent是全球光子学领域的先行者。我们利用光子来推动创新。数据中心、通信和工业市场的行业领导者依靠Coherent的专业技术来推动自己的创新和增长。
Coherent成立于1971年,在20多个国家开展业务,带来了业界广泛且深入的技术栈;可靠的供应链弹性;在全球范围内帮助客户解决棘手的技术挑战。
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