24 Jun

牛津仪器Asylum Research部门发布扫描电容显微镜(SCM)应用报告

 

牛津仪器Asylum Research部门于2020年6月3日(Santa Barbara, CA)发布全新应用报告,对于扫描电容显微镜(SCM)的技术理论以及实际应用进行介绍。文中列举了从半导体器件到其他先进材料的实例,均展现了牛津仪器SCM模块的优异性能;包括了与传统SCM模块相比更高的灵敏度,更快的扫描速度,更高的分辨率,以及可以直接对电容进行表征的能力。即使您对于SCM的技术背景并不熟悉,或使用过传统SCM但对近期此技术的最新突破不甚了解,均可通过此报告对于牛津仪器的全新SCM模块有更深层次的理解。

牛津仪器Asylum Research产品经理主管Dominic Paszkeicz先生表示:“我们全新的应用报告全面地介绍了近期推出的扫描电容显微镜(SCM)模块的优异性能。尤其是对于标准化阶梯掺杂样品的测量结果展现了SCM电容数据与掺杂水平的非常强的线性相关性。这一点可以为使用传统SCM模块时仅通过微分电容(dC/dV)数据很难对样品进行准确表征的研究人员提供重大帮助。”

尽管传统SCM技术主要被应用于半导体器件的工艺过程或用于失效分析,但是由于牛津仪器的SCM模块具有更高的灵敏度,使其可以用于分析更广泛的样品,包括在此之前通过传统SCM技术不能实现成像的材料,比如不形成自然氧化层的材料。本报告中也涵盖了一些应用实例,包括对二维材料、量子点、以及一些储能材料的表征结果。

您可以通过如下链接获取更多相关信息: https://afm.oxinst.cn/SCM-app-note

Image caption: The Asylum SCM module can be used on both conventional semiconductor materials as well as other advanced materials where SCM has not traditionally been used.

图片描述:

牛津仪器推出的全新SCM模块可以用于表征传统半导体材料,也可用于研究不适用于传统SCM模块的其他先进材料。

(上图)牛津仪器的SCM模块可以对样品的电容直接进行测量,因此测量结果与样品的掺杂浓度线性相关,而不是如传统的SCM技术只能给出微分电容(dC/dV)的测量结果。

(下图)电池电极材料通常不适用于传统SCM进行表征,但是由于牛津仪器的SCM模块具有更高的灵敏度,可以在电容信号通道(右图)中观测到形貌图(左图)不能看到的更多细节。

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