20 Apr

应用报告 | AZtecWave——一种全新的WDS分析方法

上回说到WDS最大的特点在于优异的能量分辨率(点击查看往期:为什么能量分辨率对WDS分析如此重要?),但传统的波谱操作步骤复杂。牛津仪器X射线产品经理BURGESS Simon博士从1993年开始使用EPMA(电子探针),但即使他已在波谱分析方面积累了27年的经验,也不敢保证具备专业技术或丰富经验,就能每次都获得正确的元素分析结果。

在进行WDS分析时,即便是像Simon博士这样的专家,有时也会遇到各种棘手问题,比如:

  • 如何确定谱峰采集时间?
  • 如何确定背底采集时间?
  • 如何选择束流大小?
  • 如何选择背底采集位置?
  • 是否有其它元素影响定量结果?
  • 如何减小WDS分析中的误差?

 

Simon根据多年来在理论学习和实际操作中积累的“经验法则”,可以一定程度的解决以上难题,但更多人,仍然需参考WDS系统的使用手册或向其他专家、同事寻求帮助。 牛津仪器2020年开发的AZtecWave软件的一大亮点,是可以通过SEM-EDS的信息辅助用户进行WDS参数的设置。牛津仪器在AZtecWave平台上建立了一套标准工作流程,该流程更加直观,易用性高,且大大简化了WDS分析时设定采集参数的过程。


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