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减少人为失误、降低晶圆损耗,PTIQ 升级直接提升产能、赋能等离子设备高效生产​

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牛津仪器网络课堂

减少人为失误、降低晶圆损耗,PTIQ 升级直接提升产能、赋能等离子设备高效生产​

聚焦半导体行业产能持续紧缺,晶圆厂全力扩产,但老旧控制系统人工依赖度高,极易出现参数误设、突发停机、工艺漂移,造成晶圆报废、产能受限。牛津仪器 PTIQ 软件升级线上直播,将详解新一代设备控制软件如何通过数字化智能管控,无需更换硬件即可提升刻蚀 / 镀膜设备产能与产线自动化水平。

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主讲人

高浩濒 - 牛津仪器
高级客户支持软件工程师


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