本次报告介绍原子力显微镜三大核心电学表征模块在材料纳米尺度电学性能的研究。其中导电原子力显微镜 (CAFM) 用于同步获取样品表面形貌与局部电流分布,分析材料导电特性与漏电行为;扫描电容原子力显微镜 (SCM) 通过检测针尖样品间电容变化,表征半导体掺杂浓度与介电分布;扫描开尔文探针显微镜 (KPFM) 测量接触电势差,实现表面电势、功函数与局域电荷的定量成像,同时结合 Ergo 软件实现参数自动优化。三者结合可从导电性、介电特性、表面电势多维度解析材料纳米电学行为,为功能材料与器件研究提供支撑。
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