波谱法（WDS）和能谱法（EDS）都是扫描电子显微镜（SEM）下的元素分析方法。这两种技术存在很多相似和不同处：本质上WDS依靠可机械移动的晶体依次探测单个X射线线系，获得更高的能量分辨率；而EDS并行探测具有不同能量的X射线。

WDS最大的优势在于它的能量分辨率通常优于能谱仪10倍以上。因此WDS可以获得具有高峰背比和几乎无重叠峰的X射线谱图。因此，WDS非常适合以下两种应用需要：

(1) EDS谱图中出现复杂重叠峰，特别是当某一元素浓度较低时；

(2) 痕量元素，且在EDS谱图中峰背较低，难以确认；

以含有过渡元素钛 (Ti) 和钒 (V) 的材料为例（如图1所示），Ti Kβ1 (4.932 keV) 和V Kα1 (4.952 keV) 的能量差仅为20 eV；考虑到V Kα2（4.945 keV）的影响，这一差别实际上会更小。如此严重的谱峰重叠给Ti-V-Al合金和Ti-V矿物的定量分析带来了很大挑战。一个合格的能谱探测器的分辨率为120-130 eV，因此无法仅通过EDS探测器分离这两条谱线。从以下Ti-6Al-V合金的EDS谱图中可以观察到V Kα 信号增加了Ti Kβ 峰的高度，这一现象仅在使用AZtec软件显示两种元素的各自贡献时才明显。