14 Jul

应用报告 | 利用Jupiter快速扫描原子力显微镜准确测量表面粗糙度

随着基底制备工业、薄膜沉积技术以及涂层工艺的不断发展与进步，如今我们已经可以生产表面粗糙度非常低的产品，这使得传统的光学技术以及触针式轮廓仪等很难测得准确的粗糙度数据。而原子力显微镜(AFM)则一直是用于表征样品纳米级、甚至亚纳米级粗糙度的理想工具。以牛津仪器Asylum Research新推出的Jupiter快速扫描原子力显微镜为代表的新一代AFM更是使得粗糙度的测量更加简易便捷的同时可以获取更加准确可靠的结果。

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利用牛津仪器Asylum Research Jupiter快速扫描原子力显微镜对具有超低粗糙度的外延硅晶圆样品的表征结果。如图所示测得1µm的扫描区域对应粗糙度(Sa)仅为0.902 Å。

在牛津仪器Asylum Research发布的全新应用报告中将Jupiter快速扫描原子力显微镜和其他的表面粗糙度测量方法进行了对比，报告中列举了一系列取自半导体、数据存储、玻璃以及纸张制备工业的样品的表征实例。Jupiter快速扫描原子力显微镜无论是表征速度、准确度，还是可重复性均具有显著优势。通过阅读本文您会更加理解为什么AFM是进行这些测量的理想工具，以及将现有的AFM升级为Jupiter快速扫描原子力显微镜可以如何显著提升制备工艺的质量与效率。

Jupiter快速扫描原子力显微镜可以轻松、自动化地移至200 mm样品台上的每一点并进行测量。其非常直观、易用的软件可以帮助您便捷地控制激光和光电检测器的位置、自动优化成像参数、并自动化地进行多点扫描与分析。Jupiter快速扫描原子力显微镜搭载了牛津仪器独有的blueDrive轻敲模式，可以显著提升探针使用寿命和测量结果的可重复性。除此之外，Jupiter快速扫描原子力显微镜还具有非常多样化的功能模块，可以搭载牛津仪器原子力显微镜几乎所有的性能优异的配件。而其模块化的设计也使得未来继续拓展更多功能模块更加的方便。Jupiter快速扫描原子力显微镜无论对于学术实验室还是高通量的工业应用与失效分析研究都是十分理想的测量工具。无论您的具体应用是什么，Jupiter快速扫描原子力显微镜凭借其易用性、快速扫描以及优越的性能和灵活性，都会成为您的不二选择！

更多信息详见https://afm.oxinst.cn/outreach/is-afm-the-best-tool-for-your-surface-roughness-measurements