牛津仪器 200 mm 先进刻蚀技术助力ROHM自建GaN量产线

化合物半导体先进等离子体工艺解决方案龙头企业牛津仪器宣布，将为罗姆半导体（ROHM）提供技术支撑，助力该企业实现 650 伏氮化镓功率器件自研自产产线的落地转型。