制造

FlexAL系统可提供远程等离子体原子层沉积（ALD），这为纳米结构和器件的工程设计提供了一系列新的灵活性和可行性。

离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。我们的设备具有灵活的硬件选项，包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调，以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

单晶圆刻蚀技术的进展 凭借在蚀刻GaN，SiC和蓝宝石等材料方面的丰富经验，我们的技术既能够满足性价比的要求、又能使器件的性能得到更优化。 PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统为得到更为精湛的刻蚀效果提供了智能解决方案，使您在行业中能保持竞争优势。

大面积刻蚀与沉积的量产型解决方案

The scientific grade, 1024 x 255 high speed spectroscopy CCD camera is ideally suited to rapid analysis, multi-channel and low-light applications including fluorescence and Raman spectroscopy.…

With detection capabilities ranging from UV to the Long Wave IR (LWIR) region through a comprehensive range of single point detectors - including PMTs, PbS and MCT, Solis Scanning offers…

Symmetry是全新一体化EBSD探测器，基于始创的CMOS技术。它为EBSD应用提供了出色的性能、易用性以及一系列创新设计的特点。

Cypher L是Cypher家族中的性价比之选，以其超低的预算需求和在同价格区间内登峰造极的性能和易用性，为微观探索立下了新的期望。全新的Ergo软件提供了适用不同研究领域的核心功能，包括二维材料，聚合物科学，薄膜沉积和蚀刻加工以及量子技术等。作为屡获殊荣的Cypher系列一份子，Cypher L很容易升级到Cypher S, ES或VRS1250，允许您在预算范围内实现最高质量的AFM平台搭建，并在后期根据需要升级新功能。

The Andor Solis (t) software platform is the option for time resolved work and has additional features to enable control of the iStar camera range. Applications include Laser Induced…

The innovative USB 3.0 iStar sCMOS boasts frame rates at least 50% faster than competing CCD or interline platforms (at equivalent pixel matrix size), while offering intrinsically low…

Andor iDus InGaAs 491 array series provide the most compact and optimized research-grade platform for Spectroscopy applications up to either 1.7 or 2.2 μm. The Thermo-Electrically cooled,…

设计PECVD工艺模式的目的是要在控制薄膜性能，如折射率、应力、电学特性和湿法化学刻蚀速率的前提下，生产均匀性好且沉积速率高的薄膜。

用于生长1D / 2D纳米材料和异质结构的CVD / PECVD工具。 PlasmaPro 100 Nano通过在线催化剂活化和严格的工艺控制，实现纳米材料的高性能生长。

The Andor Software Development Kit (SDK) gives the programmer access to the Andor camera and spectrograph range. The key part of the SDK is the dynamic link library which can be used…

利用sMIM，可以对金属、半导体和绝缘材料进行纳米级的介电常数和导电性成像。该技术适用于所有MFP-3D 原子力显微镜（除了Origin型号以外）。

Jupiter XR 是一款适合大尺寸样品的原子力显微镜。通过它，用户可以实现在一台扫描器上进行高速成像和大范围扫描。Jupiter原子力显微镜可用于200mm晶圆样品的扫描，提供更高的分辨率、更快的测量速度、更简便的用户体验，并且在学术研究和工业研发领域都具有出色的通用性。

Asylum Research MFP-3D-BIO 融合了原子力显微镜和光学显微镜的功能，是生物科学研究的理想仪器。它是一款具有高成像分辨率、力测量性能和多功能性的生物版原子力显微镜。此外，它还能够与全系列的技术相集成。上述优势，使MFP-3D-BIO成为更适用于科研工作的一款原子力显微镜。

PlasmaPro 80是一种结构紧凑且使用方便的小型直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置，便于使用，且能够确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是科学研究、原型设计和小批量生产的理想选择。 它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高性能工艺。

The Newton 940 spectroscopic CCD camera series utilizes a 1024 x 255 or 2048 x 512 array of 26 µm or 13.5 µm pixels, with thermoelectric cooling down to -100°C, resulting in negligible…

PlasmaPro 80 ICP是一种结构紧凑、小型且使用方便的直开式系统，可提供多种刻蚀解决方案。 它易于放置，便于使用，且能够确保工艺质量。直开式设计允许快速的进行晶圆装卸，是科学研究、原型设计和少量生产的理想选择。 该设备通过优化了的电极冷却技术和出色的衬底温度控制来实现高度稳定的工艺结果。

Andor’s new Mechelle ME5000 Echelle spectrograph has been designed to provide simultaneous recording of a wide wavelength range (200-975 nm) in one acquisition. It has no moving components…

Newton 970 offers Unrivalled EMCCD performance for spectroscopic applications. It utilizes a 1024 x 255 or 2048 x 512 array of 26 µm or 13.5 µm pixels, with thermoelectric cooling down…

Layerprobe 是SEM中用于薄膜分析的一个令人兴奋的软件工具。与专用的薄膜测量工具相比，AZtec EDS微观分析系统中的选配功能Layerprobe，速度更快、性价比更高、分辨率更高。

Intelligent and multi-modal spectroscopy platform for Physical and Life science

Newton 920 has ability to acquire over 1600 spectra per second, with -100°C cooling and the widest range of sensor options, makes the Newton spectroscopic CCD the highest performing…

这是一款安装在FIB和SEM端口上的纳米操纵手，内置了一个100nm闭环反馈控制器，具有准确、灵活、易用等特点。

MFP-3D Origin™ 具有Asylum Research产品的稳定性能和高品质。 Origin系列既有稳定的性能，又有实惠的价格。它可以实现高分辨率成像，并支持大尺寸样本、多种成像模式，以及多种配件。因此，Origin系列是一款理想的AFM入门产品！

Cypher原子力显微镜的 ORCA™ 模式可用于导电原子力显微镜成像和I-V测量。其标准模块能够测量约1 pA至20 nA的电流。此外还提供其他电流范围，以及双增益版本。

For spectroscopy applications, the Andor Solis (s) is the appropriate software platform. It has been specifically tailored to enable the user to quickly configure their acquisition,…

This ICPCVD process module is designed to produce high quality films at low growth temperatures, enabled through high-density remote plasmas that achieves superior film quality with…

The Andor Shamrock SR-500i imaging spectrometer is based on Czerny-Turner optical design. The optimized optical design provides exceptional performance for multi-track Spectroscopy.The…

AsylumResearch MFP-3D Origin+ 原子力显微镜是一款性能稳定，功能多样，扩展性强的原子力显微镜。它也是一款科研级的AFM，可用于多种研究领域。其核心性能与MFP-3D Origin相同，另外还支持多种MFP-3D专属配件。

牛津仪器离子束刻蚀（IBE）及沉积（IBD）系统是加工高质量材料的热门选择。我们的系统具有灵活的硬件选项，包括开放式装载、单晶圆load-lock和腔对腔自动装载系统等。系统的技术条件可根据应用进行针对性调整，从而实现更快、高度可重复的工艺结果。

SEM中EDS分析高空间分辨率和低能端性能。将Extreme电子电路、无窗设计与几何结构和传感器的优化设计相结合，灵敏度比传统大面积SDD高15倍。

PlasmaPro 80是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究和小批量生产的理想选择。 它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高质量的工艺。

Asylum ResearchCypher S 是一款可商业化的快速扫描AFM，而且Cypher 系列AFM 系列是少有的全功能快速扫描AFM，该系列AFM可兼容各种模式和配件。此外，该系列的优势还在于其更容易获得高分辨率。在材料科学和生命科学研究领域， Cypher S 可以实现在空气和液体环境下的对样品进行高质量的扫描和测量。Cypher S后续还可以通过升级硬件进行环境控制，甚至实现视频速率扫描功能。

PlasmaPro 80是一种结构紧凑且使用方便的小型直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究、原型设计和小批量生产的理想选择。 它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高性能工艺。

INCA WAVE 波谱仪是SEM中很少采用与EPMA相同的全聚焦几何设计的波谱仪。这意味着分辨率提高了2倍，测量更加稳定且可重复。

AZtecHKL是强大的EBSD软件。它为常规分析提供速度和结果准确性的组合，以及推进EBSD前沿应用所需的灵活性和能力。

Cypher VRS1250 AFM较第一代Cypher VRS提升了两倍的扫描速度，达到每秒1250行。这项性能提升不仅让时间分辨率增强至每秒45帧，对空间分辨率来说，亦能在稍低的帧速下得到更多的影像像素。与此同时，兼具高稳定成像特性、易于使用的密闭样品腔室、兼容气体灌注实验设置，以及各种操作模式和配件，Cypher VRS1250让您的实验野心更具底气。

制药和生物医学行业需要EDS系统来证明其数据的电子记录是可信的、可靠的，并且等同于纸质记录。AZtecPharma旨在满足制药和生物医药行业日益增长的如下需求：

Newton 971 - The most sensitive EMCCD spectroscopic detector ever offer you active pixels of 1600*400 alon with 16 x 16 µm Pixel size along with the -100°C TE cooling. It’s variable…

客户选择我们的离子束沉积产品是因为它们能够生产具有高质量，致密和表面光滑的沉积薄膜。离子束技术提供了一种多样的刻蚀和沉积的方法，并可在同一设备上实现， 因而提高系统的利用率。我们的设备具有灵活的硬件选项，包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统规格与实际应用紧密协调，以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

凭借ORCA™导电原子力显微镜的探针夹持器，所有MFP-3D 原子力显微镜都可以进行导电AFM成像和I-V性能测量。标准模块能够测量约1 pA至20 nA的电流。此外还提供其他电流范围，以及双增益版。

Relate 联用技术图像处理软件用于EDS, EBSD, SEM/TEM和AFM等数据的高精度联用分析，它提供了必要工具来关联不同显微镜的数据，可视化二维和三维的多层数据，并进行相关性分析。

AZtecAM是一个功能强大、自动化程度高的检测系统，专门用于分析增材制造（3D打印）中使用的金属原材料粉末。它在AZtecFeature平台的基础上优化了颗粒分析流程，以实现金属粉末的快速准确表征。 AZtecAM自动检测和识别原材料粉末中杂质颗粒、记录粉末颗粒形貌特征，也可深入研究单个颗粒，提供从形貌到成分、单个到统计的所有信息，是确保完善的增材制造工艺和高品质产品的理想工具。

采集高质量的数据只是EBSD分析的第一步。接下来，AZtecCrystal提供了处理和分析EBSD数据所需的工具，并帮助解决您的材料问题。AZtecCrystal可与AZtecHKL无缝集成或作为独立程序运行，为专家和新手都设定了EBSD数据处理的新标准。

Symmetry S3是市场上真正的全能型EBSD探测器，它采用先进的CMOS技术是一款革命性的EBSD探测器。为所有EBSD应用提供优越的品质、灵活易用以及一系列创新设计的功能。亮点包括：

PlasmaPro 100 Estrelas 平台旨在提供深硅蚀刻（DSiE）领域的全方位的灵活性以满足微电子机械系统（MEMS）、 先进封装以及纳米技术市场的各种工艺要求。考虑到研究和生产的市场发展，PlasmaPro 100 Estrelas 提供了更加出色的工艺灵活性。

Symmetry S2是市场上真正的全能型EBSD探测器，它采用先进的CMOS技术是一款革命性的EBSD探测器。为所有EBSD应用提供优越的品质、灵活易用以及一系列创新设计的功能。亮点包括：

AZtec3D结合了EDS和EBSD的数据同步采集和分析功能与FIB-SEM的自动制样功能。

Andor’s new iDus 416 platform boasts a unique combination of very low dark noise and very high QE, offering unrivalled sensitivity in the near-infrared. This makes it the ideal detector…

Cypher AFM系列上的激光干涉位移传感器（Interferometric Displacement Sensor, IDS）配件直接测量探针悬臂垂直样品的位置直线偏移，而非像传统光杠杆法（OBD）测量偏移角度，故而不受静电耦合影响，可提高实验结果的可重复性以及准确性。非常适用于压电力显微镜（PFM）以及d33的测量。 Cypher IDS的关键优势： …

AZtecWave

Andor’s Kymera 193i spectrograph has been designed with research-grade performance, versatility and ease of use in mind. The ‘intelligent’ motorized adaptive focusing allows access…

Andor’s iStar 320T intensified CCD camera series are designed to offer the ultimate integrated detection solution for high resolution, ns-scale time-resolved Spectroscopy. It offers…

OmniProbe 350是三轴、端口安装式机械手，其特点是具有闭环反馈的压电马达，非常适合常规的TEM薄片制备。精确直观的控制意味着您可以快速、自信地工作，而不存在损坏或丢失样品的风险。

Cypher ES Polymer Ed是专门为聚合物材料的研究量身定做。它拥有与Cypher ES一样的出色性能和多功能性，同时还配置了：blueDrive 光热激发轻敲模式、来自NanoMechPro工具箱的三大技术（用于纳米机械表征），以及高温聚合物加热器。

AZtecTEM 是一款专为透射电镜用EDS分析而设计的软件。 AZtecTEM 是一种用于表征纳米级材料的分析系统。凭借牛津仪器超过30年的TEM技术经验，Aztec几乎可以满足您对TEM新一代EDS系统的任何需求。

The Scientific Grade, 1024 x 127 deep depletion spectroscopy CCD camera is ideally suited to rapid analysis, multi-channel and low-light applications including fluorescence and Raman…

The Andor Shamrock SR-750 is based on Czerny-Turner optical design. The Shamrock is available as a pre-aligned detector/spectrometer option allowing for seamless integration of software,…

PlasmaPro 100 RIE模式可为多种材料提供各向异性干法刻蚀工艺。

AZtecWave结合了波谱仪解析X射线谱峰灵敏性、微量及痕量元素准确性以及能谱仪检测元素时的高速及高灵活性的优势。发挥波谱仪高X射线分辨率的特点，能够在更低的检测限下解析复杂的谱峰重叠。作为在高计数率下也可实现高准确定量分析的EDS探测器，Ultim Max与Wave结合，是一款优秀的基于SEM下的元素显微分析系统。

Andor’s iStar 340T Intensified CCD sensor series is designed to offer the ultimate integrated detection solution for high resolution, ns-scale time-resolved Spectroscopy. The high resolution…

Asylum Research Cypher ES 在具有Cypher S出色性能的同时，增加了完整的环境控制功能。 Cypher ES 具有与Cypher S相同的高分辨率、速度和稳定性，同时在气体或液体环境（0-250°C），甚至某些恶劣的化学环境下也能轻易地操作实验。对于那些有苛刻要求的实验来说，Cypher ES AFM是十分理想的选择。

PlasmaPro 800系列是结构紧凑、且使用方便的直开式系统，该系统为大批量晶圆和300mm晶圆上的反应离子蚀刻（RIE）工艺提供了灵活的解决方案。大尺寸的晶圆平台能够处理量产级别的批量以及300mm晶圆的工艺。

PlasmaPro 100 ALE为下一代半导体器件提供精确的刻蚀工艺控制。该系统专为GaN HEMT应用的凹槽刻蚀和纳米尺度层刻蚀等工艺而设计，其数字/循环刻蚀工艺可提供低损伤、光滑的表面。 数字/周期性刻蚀工艺 - 刻蚀领域的原子层沉积(ALD)等效工艺 低损伤 平滑的刻蚀表面 卓越的刻蚀深度控制 非常适用于纳米尺度层刻蚀（例如2D材料） …

AZtecSynergy为同时采集EDS和EBSD数据提供了一个强大的解决方案。所有用于采集理想集成数据的工具都在同一位置，不需要复杂地从一个导航器切换到另一个导航器。

AZtecLiveOne software platform is the ideal solution for carrying out a complex task like EDS as quickly and as easily as possible. No need for substantial training or advanced knowledge…

MFP-3D Infinity™原子力显微镜是MFP-3D 系列AFM的旗舰款，也是该系列中性能更为出色的产品。Infinity拥有丰富的成像模式和配件，还具有多功能性、以及一个可确保未来扩展的系统架构。MFP-3D Infinity能够让您的常规成像任务变得更简便、更快速，同时协助您完成更具挑战性的科研项目。

The PlasmaPro 800 offers a flexible solution for Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) processes on large wafer batches and 300mm wafers, in a compact footprint, open-loading…

PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE系统利用高密度电感耦合等离子体实现快速刻蚀速率。该工艺模块可提供出色的均匀性、高吞吐量、高精度和低损伤工艺，适用于最大尺寸为200毫米的晶圆，支持包括GaAs和InP激光光电子、SiC和GaN电力电子/射频以及MEMS和传感器在内的多个市场领域。

Andor’s iStar 334T fast gated intensified CCDs series is designed to offer the ultimate integrated detection solution for high resolution, ns-scale time-resolved Imaging. The 1024 x…

The Shamrock 163 is the most compact research-grade Czerny-Turner spectrograph on the market. Its 163 mm focal length, high F/3.6 aperture and wide range of seamlessly interchangeable…