AI 算力时代，如何低成本实现 InP 产线扩产？—— 牛津仪器等离子设备气柜升级解析​

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AI 算力时代，如何低成本实现 InP 产线扩产？—— 牛津仪器等离子设备气柜升级解析​

本次直播将由牛津仪器售后工程师结合设备升级实践，分享现有等离子刻蚀及 PECVD 设备气柜升级方案，解析新增气路、高精度 MFC 配置及安全改造要点，帮助用户以更低投入、更短周期实现 InP 工艺导入。

直播核心看点：

• InP 工艺气柜升级关键点解析
• 设备升级实施流程与注意事项
• 在线答疑，获取专属升级建议

欢迎报名观看！

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