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硅基芯片研发加速器:物性测量与显微表征一站式服务

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牛津仪器网络课堂

硅基芯片研发加速器:物性测量与显微表征一站式服务

当前硅基半导体研发面临制程微缩极限、材料缺陷导致良率下降等挑战,研发周期长、试错成本高成为关键瓶颈。本次讲座将介绍显微表征(EDS、EBSD、Raman)和物性测量(NI、AFM)在硅基半导体中的应用,通过多维度数据实现从材料组分、结构、工艺与物性间的全面表征,帮助研发团队快速定位工艺瓶颈(如界面缺陷、应力集中或成分偏析等),显著缩短研发周期,降低试错成本,最终提升芯片良率与市场竞争力。


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