大面积EBSD数据采集及分析方法介绍

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大面积EBSD数据采集及分析方法介绍

在材料表征中，采集具有统计意义的数据是非常重要的。从样品局域采集得到的数据可能无法反映整个样品的情况。大面积EBSD数据能兼顾宏观形貌和微观组织，测量结果还具有更高的统计性，对于精确定量分析晶粒度、织构等微观组织尤其重要。

随着EBSD技术的发展，采集大面积的EBSD数据成为新的趋势。大面积EBSD数据提供了更好的统计性，在统计晶粒大小、织构等信息时具有更高的统计准确性。大面积EBSD数据还能提供更加直观的微观组织分布。在大面积EBSD数据的实际采集操作中，可以利用低倍大视场进行，但是需要注意控制整个视场的准确聚焦；也可以利用大面积拼接的功能，轻松的完成很大面积的EBSD数据采集。

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