14 May

应用报告 | AztecWave, 焊接品控好帮手

在前述三篇文章中,我们系统性地介绍了牛津仪器新一代波谱仪AZtecWave的特点及优势,那么它在电子器件分析中有何具体应用呢?

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篇章一 | 为什么能量分辨率对WDS分析如此重要?

篇章二 | AZtecWave——一种全新的WDS分析方法

篇章三 | AZtecWave 能否重现电子探针 (EPMA) 的定量结果?

焊料、封装材料、互连材料和涂层等材料中可能存在的杂质、元素偏析或析出物会严重影响电子器件的性能。因此,准确测量电子器件中各种微量、痕量元素的含量至关重要。波谱仪(WDS)和AZtecWave在电子器件制造过程中的应用将促进电子行业的质量提升。

WDS比能谱仪(EDS)有更高的峰背比,许多元素的检测限通常可达到100 ppm以下。此外,得益于和电子探针(EPMA)相似的结构设计,AZtecWave的能量分辨率比EDS优异10倍以上,可以完全区分包括所有过渡族元素在内的特征X射线(例如Ti Kβ和V Kα)的谱峰重叠 。因此,配置AZtecWave的扫描电子显微镜(SEM)能对微量和痕量元素进行准确定量,进而大幅度提升SEM平台的分析能力。Rosie使用现已集成在AZtec软件平台上的WDS模块测试了不同无铅焊料的成分,所得结果展示如下。

图1:Sn-Sb焊料的EDS谱图,其中Sn Lβ线(3.662 keV)与 Sb Lα线(3.605 keV)有重叠。右侧迷你视窗中的点分析结果显示该样品的Sb含量低于5 wt.%。Sn与Sb的浓度分别由AZtecWave中集成的EDS和WDS模块同时测量获得。

 

欢迎点击文末“阅读原文”,了解更多使用 AZtecWave进行电子器件焊料中微量-痕量元素检测的案例。


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