21 June 2023
Unity
牛津仪器让成像简单而精彩
近日，牛津仪器发布了集背散射电子和X射线（BEX，Backscattered Electron X-ray）传感器于一体的成像探测器Unity。Unity的问世具有划时代意义，为扫描电子显微镜（SEM）下的显微分析提供了高通量、高可靠性和高分辨率的彩色成像技术解决方案。
此前， SEM下的微区分析大多是静态的、逐步进行的，并且高度依赖用户经验。操作人员通常根据SE/BSE灰度图中的形貌或原子序数衬度进行样品，并借助EDS完成精细的成分分析。如果当前区域没有感兴趣的特征，则需要重复以上繁琐步骤。
在BEX成像技术的支持下，即使在样品台移动过程中也能实时呈现试样的形貌、晶体取向、原子序数和元素分布等信息，让复杂样品分析极尽简便迅捷之能。只需稍作停留即可获得高分辨、高质量的元素面分布图，无论是开展更精细的分析还是继续样品检索都如丝般顺滑。
Unity能够在几分钟内生成准确、高分辨率的全域元素面分布图，帮助用户快速识别感兴趣的区域及特征，随即开启令人振奋的全新研究方向。在实际测试中，Unity BEX高通量成像系统将SEM的工作效率提升了高达100倍。
Unity BEX成像系统现已集成于牛津仪器的AZtec软件平台，先进的Tru-Q算法引擎确保了定性定量结果的准确性，包括峰修正，TruMap实时剥离谱峰重叠，AutoID自动元素识别和AutoLayer实时优化配色的图层叠加功能。
牛津仪器的EDS产品经理Haithem Mansour博士表示：“Unity探测器和BEX成像技术具有划时代意义。我们不仅将传统样品分析流程化繁为简，同时确保结果的高稳定性、可靠性和准确性，使用户能够专注于样品本身而非使用的分析技术。作为商业化BEX成像系统，Unity在软件算法和硬件设计方面的优势为材料研究带来了新的确定性、可靠性和高效性，加速了科学发现的过程。”
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