牛津仪器全系列设备选型指南

SEM 中 EDS 分析高空间分辨率和低能端性能。将 Extreme 电子电路、无窗设计与几何结构和传感器的优化设计相结合，灵敏度比传统大面积 SDD高 15 倍。

• 可对锂元素进行检测和成像

• 加速电压小于 2 kV 时块状样品中的空间分辨率低于 10 nm

• 与浸没式电镜相配合，可在高达 30 kV 的加速电压下收集高质量的元素信息

Ultim Max 系列能谱仪采用高端技术设计，将大面积晶体（最大可达 170 mm2）和 Extreme 电子电路结合起来，使该系列探测器拥有采集速度快、敏感性高和定量分析准确性高的特点。

Ultim Max 系列中所有型号探测器在 130,000 cps 计数率下能够同时保证轻元素（ C Ka、F Ka ）和重元素（ Mn Ka ）的能量分辨率达到技术指标。在发货前，工厂会在 SEM 上测试探头的性能。安装时会再次测试能量分辨率，确保客户在使用时（高计数率、低电压、原位测试等条件）下得到高质量的结果。

Xplore 能谱探测器的推出完善了牛津仪器能谱产品系列，使得广大用户可以使用 AZtecLive 实时元素分布功能。

• 15 / 30 mm2 有效晶体面积

• 在用户电镜上保证 Mn Kα ≤ 129eV 分辨率（ @100,000cps ）

• 最大计数率超过 1 Mcps

• 全部零件现场可更换，保证更少的宕机时间

AZtecWave 结合了波谱仪解析X射线谱峰灵敏性、微量及痕量元素准确性以及能谱仪检测元素时的高速及高灵活性的优势。发挥波谱仪高X射线分辨率的特点，能够在更低的检测限下解析复杂的谱峰重叠。作为在高计数率下也可实现高准确定量分析的 EDS 探测器，Ultim Max 与 Wave 结合，是一款优秀的基于 SEM 下的元素显微分析系统。

• 具有罗兰圆几何和弯曲晶体的全聚焦波谱仪

• 出色的能量分辨率，可完全解析高密度的X射线谱线

• 较高的峰背比意味着检测限低于 100 ppm

• 电动入射狭缝可优化分辨率和峰背比

• 倾斜几何结构实现快速分析，可重复性高及样品定位更容易

Symmetry S3 是市场上真正的全能型 EBSD 探测器，它采用先进的CMOS 技术是一款革命性的 EBSD 探测器。为所有 EBSD 应用提供优越的品质、灵活易用以及一系列创新设计的功能。亮点包括：

• 确保标定速度超过 5700 pps ，同时花样分辨率达到 156 x 128 像素

• 1244 x 1024 的像素分辨率——理想的高角度分辨 EBSD

• 独特的光纤板光学设计，图像畸变控制在亚像素范围内

• 优异的灵敏度，所有分析都将因此受益

• 软件控制的探测器倾转

为了克服红外信号的干扰，牛津仪器推出了新型高温 EBSD 探测器，在探测器的磷屏和光纤之间增加红外信号过滤装置，在高温条件下可以实现快速采集。室温条件下的性能表现与常规探测器无异，真正实现了“一机多能”。

• CMOS 传感器耦合光纤传输系统，红外过滤置于磷屏和光纤之间，灵敏度接近常规探测器

• 无需静态背底扣除，只扣除动态背底即可

• 独特的光纤板光学设计，图像畸变控制在亚像素范围内

• 最快的采集速度：5700 点/秒

• 衍射花样最高的分辨率：1244 x 1024 像素

• 探测器高度可调整，无需重新校准

• 保证在 800 ºC 工作，连续 24 小时信号无衰减

应对红外辐射，牛津仪器高温EDS能谱探测器提供红外过滤装置。最高工作温度可达到 1200ºC ，可根据电镜兼容性和测试需求选择。

• 适用于 Ultim Max 系列 EDS 探测器 Ø 有效晶体面积：40，65，100，170 mm2

• 无需静态背底扣除，只扣除动态背底即可

• 两种红外过滤设计可供选择

• 最高适用温度可达1200 ºC；对低能X射线有良好的透过性

光谱仪内置于 SEM 内，与 SEM 形成一体化系统，同步获得 SEM-EDS-Raman 或 EBSD 分析结果，实现对样品进行更加全面的微观形貌及物相结构分析。

• 内置于SEM中的高精度压电样品台，扫描范围250*250*250um

• 电镜内实现拉曼成像空间分辨率优于 450 nm

• 可配置多个激发波长

• 内置于 SEM 中 100X 长焦物镜，数值孔径0.75

• 自动化拉曼-SEM切换

• 可通过软件将SEM图像，显微镜白光像以及共聚焦拉曼成像重叠

牛津仪器纳米操作手 OmniProbe 的低温提取( Cryo lift-out )将样品提取功能扩展至低温样品（包括用高压冷冻法制备的样品）。

低温-聚焦离子束显微镜（ Cryo-FIB ）的提取功能可以在经第三方低温系统冷却至 -180 °C 的样品上操作。通过结合低温-透射电子显微镜（ Cryo-TEM ）或低温-原子探针( cryo-atom probe )可以拓展纳米分析的样品类型和应用领域 。

AZtecTEM 是一款专为透射电镜用 EDS 分析而设计的软件。

AZtecTEM 是一种用于表征纳米级材料的分析系统。凭借牛津仪器超过 30 年的 TEM 技术经验，Aztec 几乎可以满足您对 TEM 新一代 EDS 系统的任何需求。

AZtecFeature 是一款专用于 SEM / TEM 的自动颗粒物检测及分析解决方案。包含有 FeatureExpress 新功能的 AZtecFeature 结合了各种智能方法，将高通量与高准确性结合起来，为各类用户提供颗粒分析所需的高质量结果。

• AZtecBattery：锂电池异物分析系统

• AZtecSteel：钢铁夹杂物分析系统

• AZtecClean：汽车清洁度检测系统

• AZtecMineral：矿物解离度丰度检测系统

• AZtecAM：增材制造分析检测系统

• AZtecGSR：刑侦专用枪击残留物、金属致伤物及硅藻检测系统

AZtecCrystal 提供了处理和分析 EBSD 数据所需的工具，并帮助解决您的材料问题。AZtecCrystal 可与 AZtecHKL 无缝集成或作为独立程序运行，为专家和新手都设定了 EBSD 数据处理的新标准。

• 针对快速处理和大数据进行优化

• 直观的布局，多种观看模式可供选择

• 面分布图、极图和 ODF 图显示和分析

• 多个高级微观结构分析工具

• 智能数据处理和材料设置

Layerprobe 是 SEM 中用于薄膜分析的一个令人兴奋的软件工具。与专用的薄膜测量工具相比，AZtec EDS 微观分析系统中的选配功能Layerprobe ，速度更快、性价比更高、分辨率更高。

• SEM 中的薄膜分析

• 表征样品表面下的多层膜

• 无损分析

• 从 2 nm 到 2000 nm 的多层膜厚度和成分分析

• 横向分辨率低至 200 nm

• 使用只需简单设置，高性价比的 SEM 或 FIB - SEM 扩展功能

• 无缝集成，可以在现有系统上升级

Cryofree® ProteoxMX型模块化稀释制冷机具有更大实验空间和更高拓展性。

• 超大样品空间和上百根同轴线容量可以有效支持更多量子比特测试

• 能够容纳大量输入和输出同轴线以及低温微波器件

• 全面兼容Proteox稀释制冷机二级插件

• 设备经过低振动技术优化，有效减少量子比特相干时间扰动

• 基础温度低于7mK，并且在20 mK时的制冷功率大于25µW，双脉管冷头设计可以在4 K盘提供大量富余的制冷功率

• Proteox5mK是一台商用连续工作稀释制冷机，可提供小于5mK的极低温环境，@20mK制冷功率大于25 µW

• 采用刚性支架和柔性波纹管以及平移共振峰来降低脉管冷头的机械振动及其谐振信号

• 制冷机内部排布合理，便于进行实验组装

• 同轴线和直流线可以安装在总共六个直通孔和九个非直通孔之中

• 气隙热开关系统可以在4小时内将样品从30 K 降至最低温

二级插件不仅仅是传统意义上的接口， 它还可以容纳完整的实验装置，包括直流引线、 高频同轴线和低温微波器件

• 灵活的模块化设计增强了各种应用需求的兼容性

• 二级插件包含—个117 mm x 252 mm大型矩形通道。这可以配置为—个自定义平台，或是配备2个1S0100端口和—系列标准选项

• 可选择搭载配备牛津仪器设计的底部快速传样装置的二级插件，在集成超导磁体的系统中可以实现快速换样

• 集成的变温插杆可提供的样品温度范围为：1.5 K-300 K

• 结构紧凑，标准配置的最高磁场强度为14 T，可选配矢量旋转磁体 •配备高度调节和角度旋转选件的多种高性能样品杆

• 选配不同的插件可获得更低的温度：HelioxVT选件可获得< 300 mK的最低温，KelvinoxJT选件可获得< 25 mK的最低温

• 低振动 — 适用于多种敏感测试

• 分立式密封样品腔，可快速简单地更换样品，且无堵塞系统冷却回路的风险

• 低功耗 — 使用单脉冲管制冷机

• 敏感样品周围无气体流动：系统采用静态交换气冷却样品，避免制冷气流引起的脆弱样品或者测量样品杆的振动

• 通过顶部样品杆可实现快速更换样品。可在系统处于低温状态时更换样品，无需复杂的负载锁定机制来重新装载变温插件

• 系统使用内部冷阱来过滤污染物，无需使用液氮

• 可选配连接到样品的直流和射频线 •LCC样品托和通用接口，轻松实现样品的快速更换。兼容低温插杆系统

• 最低温<300mK的HelioxVT He3 制冷插杆

• 最低温<25mK的无液氦KelvinoxJT 稀释制冷插杆

• 结构紧凑，水平磁场强度达7T

• 可在系统处于低温状态时更换样品

• 超导磁体采用市面上最高规格的超导线材结合先进技术制造，性能高效可靠

• 多种实验插件可满足多种应用及研究需求

• 通过顶部装载样品杆实现快速换样

• 平行和垂直磁场方向优良的光学通路

• 可实现样品全角度旋转测量

• 采用闭循环制冷方式，减少样品交换气污染风险和气路堵塞问题

牛津仪器在设计螺线管超导磁体方面拥有超过60年的经验，标准磁场强度在4.2K时可高达20 T，此外，我们还针对MRI、NMR、ICR等应用提供定制磁体。牛津仪器的分立线圈超导磁体可以实现高达15T磁场强度，满足中子散射与光谱实验等多种应用。牛津仪器的矢量磁体可以提供在二维或三维方向倾斜或旋转的矢量磁场，为强磁场实验创造了了更多的可能。

牛津仪器在超导磁体和低温系统的设计和制造方面具有独特的技术专长和丰富的实践工程经验。我们能够根据用户特殊应用和实验需求量身定制解决方案。我们的无液氦（Cryofree®）和"湿式 "液氦冷却磁体技术，可以根据用户、应用和磁体设计要求，提供适合的解决方案。

• 低损耗杜瓦配备液氮保温层和超导磁体电极，有利于降低液氦蒸发

• 兼容Lambda点模式可以降温至2.2 K运行22T高场磁场 •使用变温插件（VTI），变温范围为1.5至300 K

• 兼容VTI, KelvinoxMX, KelvinoxTLM, KelvinoxJT和 HelioxVL

• 磁体可与3He制冷机插件或极低温稀释制冷机集成，低温可达10 mK以下

• 减少了系统稳态运行时液氦沸腾带来的影响

• 大大降低了液氦消耗和加注液氦的频率

• 恒温器可长时间保持低温，更大限度地降低了冷却样品的成本

• 集成Lambda点运行模式可以降温至2.2 K从而运行更高磁场

• 使用变温插件（VTI），变温范围为1.5 K至300 K

• 磁体可与3He制冷机插件或极低温稀释制冷机集成，最低温可达10 mK以下

• 兼容Integra湿式超导磁体系统

• 设计的实验插件可以直接从制冷机主体拆下，以便进行改装

• 选用不同的实验插杆，可以实现不同的实验应用

• 易于升级和诊断维护

• 标准配置的实验插杆配备多种引线方案和机械旋转台 •带有数据可视化和远程控制软件的自动化气体处理系统

• 大型实验室板，具有用于布线和安装低温元件的端口

• 配备3个直通孔（LOS），每个直通孔可以安装6根半刚性同轴线

• 配备2个IVC端口，可以在制冷剂中安装低温电子器件，提供了更好的散热性能

• 直径144毫米的混合室板，场中心有直径40毫米的样品空间

• 带有数据可视化和远程控制软件的自动化气体处理系统

• 顶部取样式插杆，样品通过真空闸直接进入3He/4He混合腔，确保样品在强磁场环境中具有良好的热交换，高稳定的温度和理想运行条件

• 多种服务方案，多用户实验通路 : 设计可以配合Swedish 旋转载台或者高频同轴线等选件的样品杆

• 快速便捷的换样品操作 : 在更换样品时无需去除混合液，可以减少周转时间，降低泄漏的风险

• 非金属性的实验环境：适用于固体态NMR等准确测量等要求，通常情况下扫场速率达到2T/min时混合液温度仍然不受影响

• 配备气体处理系统，实现完全自动化，可使用精细的软件和LabVIEW虚拟仪器驱动程序完成对稀释制冷机的操作

插杆式稀释制冷系统，采用Joule-Thomson冷凝单元可同时兼容湿式及干式低温恒温器。

• 能与我们多种产品兼容，包括TeslatronPT低温恒温器，湿式Integra磁体系统，任何液氦存储罐或任何样品管直径不小于50 mm的VTI等

• 带有数据可视化和远程控制软件的自动化气体处理系统

• 具有自动控制热交换气体的内部真空层（IVC）

• IVC使用真空脂或CAF胶密封（不需要铟）

• 备有一个6 mm直径的直通孔用于安装实验接线

• 采用蒸汽冷却吸附泵技术，具有卓越的制冷能力

• 从室温降至基础温度仅消耗2.7L液氦

• 氦三气罐装载在HelioxVL插件的顶部，结构紧凑，操作简单

• 内部真空室（IVC）采用活性炭吸附技术在低温保持真空

• 可以快速插拔升降温，是快速表征样品的理想解决方案

• 具备两个备用直通孔用于安装额外配件

• 兼容湿式超导磁体系统Integra和液氦自冷凝超导磁体系统IntegraAC

• 插杆设计，占用空间小

• 配备单个机械泵，维护简便

仪器特点

• 宽带多核探头：实现 1H, 19F, 13C , 31P,7Li, 11B, 23Na, 29Si 等原子核自由选择组合

• 超强的磁场稳定性：采用分体式设计、高质量稀土永磁体和多项专利控温技术，确保测试结果准确性及稳定性

• 高级脉冲序列：仪器标配脉冲场梯度、整形脉冲和脉冲序列编辑，提高测试效率，满足客户高功能实验需求

• 全面的配件模块：仪器可配备流动化学、自动进样器、变温探头( 0~65℃ )和宽带升级，满足不同阶段核磁分析需求

仪器特点

• 精确度高，重复性好：核磁技术采用整体性测量，非光学表现测试

• 检测效率高：仪器测试仅需几分钟，可快速批量处理样品，测试结果可快速反馈

• 使用方便：样品仅需极少的前处理，无需有毒有害试剂，简单培训即可操作

• 样品无损伤：仪器为非破坏性测试，样品可留样或进行其他测试

拉曼成像(alpha300 R)、原子力(AFM)、扫描近场光学显微镜(SNOM)及其联用系列高共聚焦、高分辨率、高灵敏度拉曼显微系统，以其优异前沿的成像技术倍受认可。灵活的模块化设计，还可以结合更多成像技术，为您定制个性化解决方案，实现原位化学组分分析和纳米级别表面形貌分析等科学研究。

alpha300 SHG 将偏振谐波显微成像结合非线性光学效应与偏振共聚焦显微系统，已经广泛应用于科研领域。基于模块化的产品设计，不仅可以实现常规偏振SHG/THG测量及成像分析，还可以拓展为低温与磁场等极端条件下的非线性分析，实现传统及新型二位铁电材料与器件的精细分析表征。

alpha300 apyron采用高精度自动化硬件控制和预设置光路模块，将易用性和高性能结合起来，扁平化实验工作流程，适用于：

• 兼具不同操作水平和多功能需求的实验室

• 要求高重复性试验场景、注重时效性的工业实验室

• 有高级成像需求的拉曼新手

• 转盘共聚焦显微成像

• 细胞运动研究

• 寻求更高性能标准的资深拉曼光谱学家

• 需远程操作的研究人员，如密闭环境操作

alpha300 Ri 采用倒置光路对样品从下到上进行化学表征，既保留了 alpha300 系列共焦拉曼成像显微镜的功能，又引入全新的倒置光路设计，便于观察研究水溶液和大尺寸样品。

其独特的几何学设计，尤其适用于生命科学、生物医学和地质领域的研究。

RISE 显微镜将拉曼成像与扫描电子显微镜功能集成到一台设备，可以进行超微结构表面特性与分子化合物信息关联分析。

RISE显微镜的应用领域可涵盖：

• 材料科学

• 纳米技术

• 高分子

• 地质科学

• 生命科学

• 制药产业

cryoRaman 将极限空间分辨率的拉曼成像带到超低温-强磁场研究领域，强势助力低温磁场下材料新物理特性的研究，可轻松进行低至1.8K的强磁场实验。多功能关联成像测量：拉曼光谱及成像，荧光及其寿命及成像，二次谐波成像、微区光电流等。

多领域应用：

• 量子光学

• 材料的磁光效应拉曼效应

• 磁光材料结构相变、磁相变和磁振子激发研究

• 低温磁场下材料相变的光谱特性

• 磁场对光电材料的能带及载流子漂移影响

• 半导体量子点发光的多体问题

高校科研院所的分析测试平台、第三方检测平台、半导体生产企业的 QA / QC / FA ，以及工业高端研发 R&D 。

• 仅需几秒钟即可成快速成像，提升测试通量 5-20 倍。搭配智能自动扫描和全马达自动化控制系统，初学者也能快速掌握高通量的快速测试

• 即便是在轻敲模式下，也可实现原子级别高精度成像 ，可检测粗糙度小于 100 pm 的超平表面

• 连续 1000 次的测量数据重复性偏差小于 1%

• 革命性的光热激发轻敲模式 blueDrive 模式让测量更准确更稳定

• 200 mm 无死角电动马达样品台，适合各种样品

• 可与牛津仪器 EDS / EBSD 联用实现元素和微观结构的研究

• 丰富的电学、力学和磁学等配件可提供近 40 种功能模式，满足各种研究需求

• 同时配备两套操作系统：面向高阶用户的专业开源系统和面向基础需求的‘引导式’中文操作界面系统

超高分辨、快速成像、全功能、丰富扩展性，操作简单方便。

• 业内最低的XY闭环噪音 60 pm ，可以轻松实现的原子级成像

• 快速成像硬件可以实现 5-20 倍的扫描速度提升

• 初学者也能快速掌握的智能自动扫描和全马达自动化操作

• 丰富的电学、力学和磁学等配件可提供近 40 种功能模式，满足各种研究需求

• 同时配备两套操作系统：面向高阶用户的专业开源系统和面向基础需求的‘引导式’中文操作界面系统

• 可选配革命性的 blueDrive 光热驱动系统和干涉位移传感系统 IDS 系统

• 占地空间小，对环境无特殊需求

• 可升级到 Cypher ES 或者 Cypher VRS

超高分辨、快速成像、原位环控、全功能、丰富扩展性，操作简单方便。

• 内置环境控制硬件，让研究者随时随地可以开始环境控制实验

• 全密封的环境控制腔可以实现各种液体循环、气氛控制、变温、电化学环境等特殊原位环境控制实验

• XY 闭环噪音 60 pm ，即使在手套箱中，都可以实现原子级成像

• 快速成像硬件可以实现最高可到 1 幅/秒，兼顾效率提升和动态研究需求

• 可选配革命性的 blueDrive 光热驱动系统和干涉位移传感系统 IDS 系统

• 丰富的电学、力学和磁学等配件可提供近 40 种功能模式，满足各种研究需求

• 同时配备两套操作系统：面向高阶用户的专业开源系统和面向基础需求的‘引导式’中文操作界面系统

• 占地空间小，对环境无特殊需求

• 可升级到 Cypher VRS

• 全新的硬件系统和数据传输处理系统，大大提升了工作带宽，可实现最高 45 幅/秒的视频级成像

• 内置环境控制硬件，让研究者随时随地可以开始环境控制实验

• 全密封的环境控制腔可以实现各种液体循环、气氛控制、变温、电化学环境等特殊原位环境控制实验

• XY 闭环噪音 60 pm ，即使在高速扫描过程中，仍可以实现原子级成像

• 标配革命性的 blueDrive 光热驱动系统

• 丰富的电学、力学和磁学等配件可提供近 40 种功能模式，满足各种研究需求

• 同时配备两套操作系统：面向高阶用户的专业开源系统和面向基础需求的‘引导式’中文操作界面系统

仪器特点

• 集共聚焦显微技术、宽场显微技术、透射光显微技术于一体

• 适合生物学家的高速共聚焦成像技术

• 强大而直观的采集及图像分析软件

主要应用

• 细胞生物学

• 发育生物学

• 神经科学

• 组织成像

• 仪器平台

紧凑型200系列，适用于倒置和正置显微镜

• 共聚焦速度高达400 fps •Borealis™增强型照明

• 适用于大而平坦的视野 •ClearView-GPU™去卷积

• 双相机采集 •选择变焦和针孔尺寸

500系列提供所有成像模式和扩展功能
选择此型号能获得可扩展的成像范围：使用TIRF观测细胞膜上的蛋白,或者使用SRRF-Stream和dSTORM超分辨率功能进行细胞中更深层的观测; 满足大尺寸组织或活体样品的观测。

主要应用

• 生理学/离子成像

• 超分辨率显微成像

• 光片显微成像

• 转盘共聚焦显微成像

• 细胞运动研究

• TIRF显微成像

• 升级显微成像性能