如何利用模拟谱图功能确定EDS分析的检测限

14^th October 2022 | Author: Simon Burgess

在进行EDS分析时，大家对于某种材料中特定元素的EDS检测限（Limit of Detection, LOD）往往有不同的看法： 有些人认为0.5wt%，有些人认为0.25wt%，有些人觉得0.1wt%是可能的。实际上，答案视情况而定。利用AZtec软件，可以在任何实验条件下轻松推测不同元素的检测限，从而在测试之前获得最佳条件。测试时，即使未检出某元素，仍然可以有信心知道它是否真的存在。

AZtec软件的膜厚测量功能LayerProbe中包含谱图模拟，利用该功能可以获得EDS分析的检测限。近期推出的LayerProbeONE功能，可以计算单层薄膜的厚度以及模拟谱图，同样也可获得不同条件下元素的检测限。

在LayerProbeONE（或AZtec 6.1之后版本的LayerProbe）功能中，包含了向谱图添加统计噪声的新功能。在设置中启用噪声，该功能自动从系统中收集EDS采集的参数，并可模拟出利用该SEM和EDS能谱可分析的不同成分的谱图。

通过输入材料的成分，然后添加少量感兴趣的元素（如下图中的 1wt%Ti），AZtec 可给出模拟的谱图，同时也可给出成分测量精度，并确定元素的检测限。

通过改变不同参数，如材料的组成、加速电压、束流等，可观察相应检测限的变化。以两种不同材料（钢和有机物）中锌的检测为例，选择不同加速电压进行模拟。我们可以在下表中看到，通过改变材料的成分、加速电压和分析线系，检测限 就会在 0.09 到 1.23 wt% 之间变化。较高的加速电压可以获得更低的检测限，重元素在平均原子序数较低的样品中检测限更低。

使用AZtec软件6.1版中的LayerProbe和LayerProbeONE功能，可以帮助确定元素分析时的检测条件及了解分析时的元素检测限。

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