28 Aug

专注20年,让AFM“更快速、更准确、更智能” 

作为ChinaNANO 2019的赞助商,牛津仪器携旗下原子力显微镜部门(Asylum Research,以下简称AR)亮相此次大会。会议间隙,在牛津仪器展位,仪器信息网编辑就AR业务部门产品研发及市场动向,与AR全球总裁Terry Hannon博士、亚太区副总裁David Beck博士、产品经理Marta Kocun博士以及中国区大区经理刘方博士进行了现场交流。

ChinaNANO 2019大会现场
牛津仪器展位现场

专注AFM研究20载,产品创新从高性能到广用途

AR成立于1999年4月1日,2012年加入牛津仪器,且加入牛津仪器之前就已经在中国开展了业务。今年是部门成立的20周年,20年来AR一直专注于原子力显微镜的研究。David Beck介绍到,“至ChinaNANO 2019,已经是牛津仪器AR第七次参加ChinaNANO,每次参会AR都会带来具有革命性意义的新产品、新技术。”

AR创立之初的第一款产品MFP-1D是最早的具有闭环扫描器的产品,解决了当时市场上的原子力显微镜都无法精准地测量力曲线的弊病。2007年,AR推出了快速扫描产品Cypher,那时候大家扫一幅AFM图像普遍需要几分钟甚至十几分钟,市场上也没有出现所谓快速扫描原子力显微镜的概念,Cypher的推出把扫描速度提高了几十倍,线速度可以达到几十赫兹。2017年牛津仪器正式推出了Cypher VRS,这是市场上第一款全功能的视频级扫描原子力显微镜,其将AFM的扫描速度又提高了一个数量级,最快可以实现超过10幅每秒的帧速度,让使用者可以进行纳米尺度下的原位动态的研究,这是一个巨大的进步。

“今年推出的Jupiter,是一款大样品台原子力显微镜。无论是分辨率、自动化程度、扫描精度、还是扫描速度,它都领先于市场上的同类产品,且Jupiter可以兼顾学术和工业研究的需求。”Marta Kocun说到,“工业界的样品尺寸一般都比较大,无法切割。之前很多客户对我们的产品性能很满意,但是出于样品尺寸方面的考量,放弃了我们的产品,Jupiter的推出解决了这个问题。”

牛津仪器AR原子力显微镜
(左: MFP-3D; 中: Cypher VRS; 右: 本次展出的Jupiter XR)

技术创新为基础,拓宽AFM应用领域从学术至工业

“如果你看我们技术发展历程的话,会发现牛津仪器AR一直引领着原子力显微镜市场的技术革新。”Terry Hannon说到,“牛津仪器AR把产品带到了ChinaNANO 2019现场进行操作展示,这说明我们对自己的产品非常有信心。原子力显微镜对稳定性和噪音有很高的要求,一般需要一个安静的运行环境,而牛津仪器AR的产品在这样一个较为嘈杂的环境下仍可以工作,足以证明AR产品的技术能力和水平。”

AR以前的客户主要集中在高尖端科研和工业研发领域,通过推出配备大样品台的快速扫描原子力显微镜,客户也从学术研究拓展到了工业生产、检测等更多的领域。Terry Hannon表示,“其实公司新款产品的推出就是要从学术走到更广阔的应用前景,我们要把原子力显微镜的使用场景扩得更大,让更多的人用到牛津仪器AR的先进技术。”

牛津仪器不只有原子力显微镜部门,还有等离子体部门、能谱部门等。“在研发Jupiter这款产品的时候,AR就跟等离子体部门有很好的合作,深挖了半导体领域的需求,并针对需求进行产品的研发和制定。”Marta Kocun说到,“我们有很强的技术,并将这些技术优势转变为针对半导体领域的具体的解决方案。其实工业界更关心是准确性、重复性、以及长效性。牛津仪器AR在新推出的Jupiter XR上面做了测试,用同一根探针连续扫描一千次,最终的结果显示,测得的表面粗糙度的误差小于1%,这样的一致性对工业领域是非常重要的。AR提供的仪器和技术能够让半导体领域客户在高效使用设备的同时,获得准确而可重复的测量数据。”

交流现场

中国市场需求向上,未来将持续加大投入

“中国是一个发展相对迅猛的市场,由于政府和企业越来越重视研发的投入,中国对高科技设备的需求也在逐年增长。”Terry Hannon讲到,“所以牛津仪器非常重视中国的市场,对中国市场也做了持续的投入。”

“就像白春礼院长在ChinaNANO 2019开幕式上讲的,中国的纳米科技已经在世界上领先,其中很多领域都处于引领地位。牛津仪器不仅可以提供技术一流的仪器产品,同时也有非常优秀的、有资深专业背景的工程师团队,能够支持客户最大限度地利用仪器。公司用心培养专业的技术团队,帮助中国用户掌握先进的AFM技术,在这个层面上也体现出了对中国市场的重视。”Terry Hannon说到。

更多潜在市场需求有待开发,牛津仪器AR致力让AFM“更快速、更准确、更智能”

Marta Kocun谈到,“如果看到我们最新的仪器,会发现跟几十年前的产品有很大的不同。跟以前的产品相比,它的主要部件、驱动方式、检测系统都有了显著的发展。比如牛津仪器AR推出的blueDrive光热激发轻敲模式,就是彻底改变了传统压电陶瓷驱动方式,大大提高了测量的稳定性和准确性。再比如牛津仪器AR近期推出的干涉位移传感系统(IDS),其最大优势是可以避免传统光杠杆所带来的误差,能够实现探针运动的精确测量。”

虽然原子力显微镜市场在逐年增长,但它还是有很大的增长空间。对此,Terry Hannon表示,“原子力显微镜具有自己独一无二的特点,能做别的技术做不了的事。牛津AR的愿景就是要把原子力显微镜做得更快速、更准确、更智能,使得原子力显微镜为更多人所认识,让更多的人可以直接使用。”

牛津仪器AR高层与本次展出的Jupiter XR
(左至右: Terry Hannon博士; David Beck博士; Marta Kocun博士; 刘方博士)

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